-ºÒ»êÀÇ ¼øµµ, ºÒ»ê¼ö¿ë¾×ÀÇ ³óµµ
-¡®ÀϺ»»ê °í¼øµµ ºÒ»ê, ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼°øÁ¤¿¡ ²À ÇÊ¿äÇÏ´Ù?¡¯
-ºÒ»ê, ±¹³» ¹× ÇØ¿Ü»êÀ¸·Î ÃæºÐÈ÷ ´ëü°¡´É
Áö³ 7¿ù 4ÀÏ, ÀϺ» Á¤ºÎ´Â Ç÷ç¿À¸° Æú¸®À̵̹å, Æ÷Åä ·¹Áö½ºÆ®, °í¼øµµ ºÒȼö¼Ò µî ¹ÝµµÃ¼·µð½ºÇ÷¹ÀÌ °ü·Ã ÇÙ½É Ç°¸ñ 3°¡Áö¿¡ ´ëÇØ Çѱ¹À¸·ÎÀÇ ¼öÃâÀ» ±ÔÁ¦Çß´Ù. ÀÌ·Î ÀÎÇØ Æ¯È÷ 99.999%ÀÇ ÀϺ»»ê °í¼øµµ ºÒȼö¼Ò¿¡ ÀÇÁ¸ÇÏ´ø »ï¼ºÀüÀÚ, SKÇÏÀ̴нº µî ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷ÀÇ Å« ÇÇÇØ°¡ ¿¹»óµÆ´Ù.
±×·¯³ª ¿¹»ó°ú ´Þ¸® ±¹³» ±â¾÷Àº Å« ÇÇÇظ¦ ÀÔ±â´ÂÄ¿³ç ±¹»ê ºÒȼö¼Ò¸¦ »ý»ê°øÁ¤¿¡ ÅõÀÔÇϱâ·Î °áÁ¤Çß°í, ÀϺ»À» Á¦¿ÜÇÑ ºÒȼö¼Ò ´ëü °ø±Þ±¹À» ã¾Æ ³ª¼ ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇØ ³ª°¡°í ÀÖ´Â »óÅ´Ù. °ú¿¬ °í¼øµµÀÇ ÀϺ»»ê ºÒȼö¼Ò¸¦ ¾²Áö ¾Ê¾Æµµ ±¦ÂúÀº °É±î? ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê°úÁ¤°ú ºÒȼö¼ÒÀÇ ¿ëµµ¸¦ ¾Ë¾Æº¸°í ºÒȼö¼Ò¿Í °ü·ÃµÈ ¸î °¡Áö Àǹ®À» Ç®¾î º»´Ù.
-ÀÌ ±â»ç´Â <³ªÄ§¹Ý 36.5µµ> ¸Å°ÅÁø 8¿ùÈ£ 92p¿¡ 6pºÐ·®À¸·Î ½Ç¸° ³»¿ëÀÔ´Ï´Ù.
-Àüü ±â»ç ³»¿ëÀÌ ±Ã±ÝÇÏ´Ù¸é '³ªÄ§¹Ý 36.5µµ 'Á¤±â±¸µ¶'À» ½ÅûÇϼ¼¿ä.
°æÀï·Â ÀÖ´Â ³ª¸¸ÀÇ ÇлýºÎ ¸¸µå´Â ºñ¹ýÀÌ ¸Å´Þ ¼Õ¾È¿¡ µé¾î¿Â´Ù¸é? ÇÐÁ¾ ÀÎÀç·Î °¡´Â ±æÀâÀÌ ³ªÄ§¹Ý 36.5µµ¿Í ÇÔ²²¶ó¸é °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. ¸Å´Þ ¼±¸íÇØÁö´Â ´ëÀԷε带 Á÷Á¢ È®ÀÎÇϼ¼¿ä!
¡å <³ªÄ§¹Ý 36.5µµ> Á¤±â±¸µ¶ ½Åû
¹ÝµµÃ¼ ½Ä°¢°øÁ¤°ú ºÒȼö¼ÒÀÇ ¿ëµµ
ÀϺ»ÀÌ ¼öÃâÀ» ±ÔÁ¦ÇÏ´Â °í¼øµµ ºÒȼö¼Ò(HF, ÀÌÇÏ, ºÒ»ê)´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦ÀÛ°úÁ¤¿¡¼ ‘½Ä°¢°øÁ¤’ ±× °¡¿îµ¥¼µµ ½À½Ä½Ä°¢¿¡ »ç¿ëµÈ´Ù. ¹ÝµµÃ¼¸¦ ±ð¾Æ³»´Â ½Ä°¢°øÁ¤Àº ½À½Ä½Ä°¢°ú °Ç½Ä½Ä°¢ µÎ °¡Áö°¡ ÀÖ´Ù. ½À½Ä½Ä°¢Àº ºÒȼö¼Ò Áï ºÒ»ê ¿ë¾×À¸·Î ¹ÝµµÃ¼¸¦ ºÎ½Ä ½ÃÄÑ ±ð¾Æ³»´Â ¹æ¹ýÀÌ´Ù.
´ÜÁ¡Àº ºÎ½ÄÀ» ½ÃÅ°Áö ¾Ê¾Æ¾ß ÇÏ´Â Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®(photoresist)ÀÇ ¾Æ·§ºÎºÐ±îÁö ºÎ½Ä½ÃÅ°´Â µî¹æ¼ºÀ» ³ªÅ¸³½´Ù´Â °ÍÀÌ´Ù. µÕ±Û°Ô ¸ðµç ¹æÇâÀ¸·Î µ¿ÀÏÇÏ°Ô ºÎ½ÄÀÌ µÇ±â ¶§¹®¿¡ Á¤¹ÐÇÑ ½Ä°¢ÀÌ ºÒ°¡´ÉÇÏ´Ù. ÇÏÁö¸¸ Á¤È®µµ°¡ ¶³¾îÁö´Â ´ë½Å, ¼Óµµ°¡ ºü¸£°í ºñ¿ëÀÌ Àú·ÅÇÏ´Ù´Â ÀåÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù. ÀÌ·± Á¡ ¶§¹®¿¡ ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼È´Ü°èÀÇ Á¤¹Ð¼ºÀ» ¿äÇÏÁö ¾Ê´Â °øÁ¤¿¡¼ »ç¿ëµÈ´Ù.
°Ç½Ä½Ä°¢Àº ÇöóÁ»óÅ¿¡¼ ¾Æ¸£°ïÀÇ ¹°¸®Àû Ãæ°Ý ¶Ç´Â ÈÇа¡½º¸¦ ÅëÇؼ ½Ä°¢À» ÇÏ´Â ¹æ¹ýÀÌ´Ù. ½À½Ä°ú ´Ù¸£°Ô Á¤¹ÐÇÑ ½Ä°¢ÀÌ °¡´ÉÇÏÁö¸¸ ºñ¿ëÀÌ ºñ½Î°í ½Ã°£ÀÌ ¿À·¡ °É¸°´Ù´Â ´ÜÁ¡ÀÌ ÀÖÁö¸¸ ºñµî¹æ¼ºÀÌ´Ù. Á¤¹ÐÇÏ°Ô ±ð¾Æ³»±â ¶§¹®¿¡ ¹Ì¼¼ÇÑ °øÁ¤À¸·Î ÁøÇàµÉ¼ö·Ï °Ç½Ä½Ä°¢ÀÌ ÁÖ·Î »ç¿ëµÈ´Ù.
°Ç½Ä½Ä°¢Àº ºÒ»êÀ» ÀÌ¿ëÇÏ´Â °Í ¿Ü¿¡µµ °¡½º·Î ½Ä°¢ÇÏ´Â ¹æ¹ý, ÇöóÁ »óÅ¿¡¼ ¾Æ¸£°ï ¿ø¼Ò·Î ¿þÀÌÆÛ(wafer)ÀÇ Ç¥¸éÀ» ¶§·Á¼ ½Ä°¢ÇÏ´Â ½ºÆÛÅ͸µ(sputtering)À̶ó´Â ¹æ¹ý, ÀÌ µÎ °¡Áö¸¦ È¥ÇÕÇÑ RIE(Reactive Ion Etching)¶ó´Â ¹æ¹ýµµ ÀÖ´Ù.
°Ç½Ä½Ä°¢ Áß¿¡¼ °¡½º·Î ÇÏ´Â ÈÇнİ¢Àº ½À½Ä½Ä°¢°ú °°ÀÌ ¾îÂ÷ÇÇ µî¹æ¼ºÀ¸·Î À§¿¡¼ ¾ê±âÇÑ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¾Æ·§ºÎºÐ±îÁö ½Ä°¢ÀÌ µÇ±â ¶§¹®¿¡ Á¤¹ÐÇÑ ½Ä°¢Àº ºÒ°¡´ÉÇÏ´Ù´Â ´ÜÁ¡ÀÌ ÀÖÀ¸¸ç, ÇöóÁ ¾Æ¸£°ï ½ºÆÛÅ͸µ ¹æ½ÄÀº ºñµî¹æ¼ºÀº ÀÖÁö¸¸ ±×·¸´Ù°í ¿Ïº®ÇÑ ½Ä°¢Àº ¾Æ´Ï´Ù. ÇöÀç±îÁö °¡Àå ¿Ïº®ÇÑ °ÍÀº µÎ °¡Áö¸¦ È¥ÇÕÇÑ RIE ¹æ½ÄÀ̶ó°í ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
ÇöÀç Çѱ¹ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤¿¡¼´Â ºñ¿ë¹®Á¦°¡ ÀÖÀ¸¹Ç·Î Á¤¹ÐÇÑ ½Ä°¢Àº ¾Æ¸£°ï ¿ø¼Ò·Î ¿þÀÌÆÛÀÇ Ç¥¸éÀ» ±ð¾Æ ¹°¸®ÀûÀ¸·Î ¿øÀÚ¿Í ºÐÀÚ¸¦ ¶¼¾î³»´Â ½ºÆÛÅ͸µ ¹æ½ÄÀ», ´ú Á¤¹ÐÇصµ µÇ´Â ºÎºÐÀº ¾ÆÁ÷ ½À½Ä½Ä°¢À¸·Î ó¸®ÇÑ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ³ª SKÇÏÀ̴нº°¡ ¼öÁÖ °ø½Ã¸¦ ÇÒ ¶§, ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ¸¦ ¼öÁÖÇÒ ¶§ ½À½Ä°ú °Ç½Ä½Ä°¢ Àåºñ µÑ ´Ù ¼öÁÖÇÏ´Â ÀÌÀ¯´Â, ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê ºñ¿ë°ú È¿À²¼ºÀ» ÃÖ´ëÇÑ ²ø¾î¿Ã¸®±â À§Çؼ ½À½Ä°ú °Ç½Ä µÎ ¹æ½ÄÀ» ¸ðµÎ »ç¿ëÇϱ⠶§¹®ÀÌ´Ù.
ºÒ»êÀÇ ¼øµµ, ºÒ»ê¼ö¿ë¾×ÀÇ ³óµµ
ºÒ»êÀº »ó¿Â¿¡¼ ±âü ¶Ç´Â ¼ö¿ë¾× »óÅ·Π°ø±ÞµÈ´Ù. ºÒ»êÀÌ ¼ö¿ë¾× »óÅ°¡ ¾Æ´Ò ¶§´Â ¹«¼öºÒ»êÀ̶ó°í ºÎ¸¥´Ù. ¸» ±×´ë·Î ¼öºÐÀÌ ¾ø´Â ºÒ»êÀÌ´Ù. ¹«¼öºÒ»êÀÇ ²ú´ÂÁ¡Àº 19.54¡ÉÀ̱⠶§¹®¿¡ ½Ç¿Â¿¡¼´Â ±âü»óÅ·ΠÁ¸ÀçÇÑ´Ù.
ÀϹÝÀûÀÎ °ø¾÷¿ë ºÒ»êÀ» Á¦Á¶ÇÏ¸é ¼øµµ 99.99% ºÒ»êÀÌ ¸¸µé¾îÁø´Ù. ³ª¸ÓÁö´Â ºÒ»ê Á¦Á¶°úÁ¤¿¡¼ ¹Ì¼¼ÇÏ°Ô À¯ÀԵǰųª ³²¾ÆÀÖ´Â ºñ¼ÒÆ®¶óÀÌÇ÷ζó, »ïºÒȺؼÒ, Ç÷ç¿À¸°ÈÀÎ, »çÇ÷ç¿À¸°È±Ô¼Ò µî ¹Ì·®ÀÇ ºÒ¼ø¹°µéÀÌ 0.01%ÀÇ ¼öÁØÀ¸·Î ³²¾ÆÀÖ°Ô µÈ´Ù.
¹ÝµµÃ¼ ½Ä°¢°øÁ¤¿¡¼´Â ¾ÆÁÖ ¹Ì¼¼ÇÑ ¼öÁØÀÇ ºÒ¼ø¹°ÀÌ ÀÖÀ» °æ¿ì¶óµµ ¿þÀÌÆÛ¿¡ ÀÜ·ù ¶Ç´Â ÆÐÅÏÇü¼º°úÁ¤¿¡ ¹ÝÀÀÇؼ ¹®Á¦¸¦ ÀÏÀ¸Å²´Ù°í ¾Ë·ÁÁ® ÀÖ´Ù. ÇöÀç ºÒ»êÀº 2Â÷ °øÁ¤À» ÅëÇØ ÀÌ·± ºÒ¼ø¹°À» »ó´çÈ÷ Á¦°ÅÇÑ °í¼øµµ·Î »ç¿ëµÈ´Ù.
‘¼øµµ 99.99% ºÒȼö¼Ò’¸¦ ¸»ÇÒ ¶§´Â ºÒ»ê ÀÚüÀÇ ¼øµµ °³³äÀ» ¸»ÇÏ´Â °ÍÀÌ´Ù. ºÒ»êÀÇ ¼øµµ°¡ ³ô°í ³·À½¿¡ µû¶ó ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ ½Ä°¢ ¹× ÆÐÅÏÇü¼º¿¡ ¿µÇâÀ» ÁÙ ¼ö ÀÖ´Â ºÒ¼ø¹°ÀÌ ¾ó¸¶³ª Æ÷ÇԵǾî ÀÖ´ÂÁö¸¦ ÆÇ´ÜÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
A¼ººÐÀÌ 50°³, B¼ººÐÀÌ 10°³, C¼ººÐÀÌ 10°³, ÃÑ 70°³·Î ±¸¼ºµÈ È¥ÇÕ¹°ÀÌ ÀÖÀ» ¶§, A¼ººÐÀÇ ¼øµµ¸¦ ±¸ÇÑ´Ù¸é 50À» ÀüÁ¦ ¼ººÐ °³¼öÀÎ 70À¸·Î ³ª´²¼ ¼øµµ 72.42%¶ó´Â ´äÀ» ¾ò¾î³¾ ¼ö ÀÖ´Ù. ¼øµµ°¡ 99.99%¶ó´Â °ÍÀº Àüü¼ººÐ °³¼ö°¡ 10¸¸°³¶ó¸é ±×Áß ÇÑ °³°¡ ºÒ¼ø¹°À̶ó´Â °ÍÀÌ´Ù. ‘50% HF’, ‘55% HF’¶ó°í ¸»ÇÏ´Â °æ¿ì´Â ¹ÝµµÃ¼ ½Ä°¢¿ëÀ¸·Î ¾²ÀÌ´Â ºÒ»ê¼ö¿ë¾×ÀÇ ³óµµ¸¦ ¸»ÇÏ´Â °ÍÀÌ´Ù.
ºÒ»ê¼ö¿ë¾×ÀÇ ³óµµ°¡ Àû´çÇÏ°Ô ¸ÂÃçÁ® ÀÖ´Â ÀÌÀ¯´Â ½Ä°¢ÀÇ °øÁ¤¿¡ ¾Ë¸Â°Ô ¼³Á¤µÈ ³óµµÀ̱⠶§¹®ÀÌ´Ù. ¿¹¸¦ µé¾î, ºÒ»ê ³óµµ 50%ÀÇ ¼ö¿ë¾×À» »ç¿ëÇØ¾ß ÇÏ´Â °øÁ¤¿¡¼ ºÒ»ê ³óµµ 80%ÀÇ ¼ö¿ë¾×À» »ç¿ëÇÏ¸é ³Ê¹« °úµµÇÏ°Ô ½Ä°¢ÀÌ µÇ¾î ¿þÀÌÆÛ°¡ ´Ù ³ì¾Æ µé¾î°¡ »ç¿ëÇÏÁö ¸øÇÏ°í ¹ö·Á¾ß ÇÑ´Ù.
‘ÀϺ»»ê °í¼øµµ ºÒ»ê, ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼°øÁ¤¿¡ ²À ÇÊ¿äÇÏ´Ù?’
ÇöÀç±îÁö ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê°øÁ¤ÀÇ ¹Ì¼¼È ´Ü°è¿¡¼ ºñ¿ë°ú ¼Óµµ, È¿À²¼º ¹®Á¦·Î ÀÎÇØ ºÒȼö¼Ò°¡ »ç¿ëµÇ´Â ½À½Ä½Ä°¢°ú °¡½º ½Ä°¢ ¹æ½ÄÀÌ ¸ðµÎ Àß »ç¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù. Áö±Ý ¹Ì¼¼È °øÁ¤°ú ÇöÀç »óȲ¿¡¼´Â ºÒȼö¼Ò´Â »ó´çÈ÷ Áß¿äÇÑ ¼ÒÀçÀÎ °ÍÀº ¸Â´Ù. ±×·¸Áö¸¸ ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼È °øÁ¤ÀÌ ÁøÇàµÉ¼ö·Ï ¼øµµ¸¦ Á¡Á¡ ´õ ³ôÀÎ ºÒȼö¼Ò¸¦ ½á¾ß ÇÑ´Ù´Â ÁÖÀåÀº »ç½ÇÀÌ ¾Æ´Ï´Ù.
¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ÀÇ ³ª³ë¹ÌÅÍ°¡ ÀÛ¾ÆÁú¼ö·Ï ºÒ»ê¿ë¾×ÀÇ ½À½Ä½Ä°¢ ¶Ç´Â ºÒ»ê°¡½º·Î °¡½º½Ä°¢À» Çϸé Á¤¹ÐÇÑ ½Ä°¢ÀÌ µÇÁö ¾Ê´Â´Ù. ¸¸¾à ½À½Ä½Ä°¢À» ½ÇÇàÇÑ´Ù Çصµ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¾Æ·¡°¡ ¹«³ÊÁöÁö ¾Ê°Ô ÀÌ ½Ä°¢°øÁ¤¸¸ ¸·ÁúÀ» ÇÑ ¹ø ´õ ¾º¿ì´Â ¿øÀÚÁõÂø°øÁ¤À» ÇÑ ¹ø ´õ °ÅÃÄ¾ß ÇÑ´Ù.
À̶§ ÀÌÁß ºñ¿ëÀÌ ¹ß»ýÇϹǷΠ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼È°¡ ÁøÇàµÉ¼ö·Ï µî¹æ¼ºÀ» °¡Áö´Â ½À½Ä½Ä°¢ ¶Ç´Â °¡½º ½Ä°¢Àº »ç¿ëµÇ±â ¾î·Æ°í ºñµî¹æ¼ºÀÇ °Ç½Ä½Ä°¢¸¸ »ç¿ëÀÌ µÈ´Ù. ¼±ÆøÀÌ ¹Ì¼¼È µÉ¼ö·Ï Ç÷ç¿À¸°(F), »ê¼Ò(O), ¿°¼Ò(CI) µî ¿ø¼Ò´ÜÀ§ ¹°Áú·Î ¿þÀÌÆÛ Ç¥¸éÀ» ¹ÝÀÀ½ÃÅ°´Â ÈÇнİ¢°ú ÇÔ²² ¾Æ¸£°ïÀ¸·Î ¶§¸®´Â ¹°¸® ½Ä°¢ÀÌ »ç¿ëµÈ´Ù.
Áï, ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ÀÌ ¹Ì¼¼È°øÁ¤À¸·Î ÁøÇàµÉ¼ö·Ï ½Ä°¢°øÁ¤ÀÌ ºñµî¹æ¼ºÀÇ °Ç½Ä½Ä°¢À¸·Î ¹Ù²î¾î°¡±â ¶§¹®¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ºÒȼö¼ÒÀÇ ¾çÀÌ °¨¼ÒÇÒ °¡´É¼ºÀÌ ¸Å¿ì ³ô´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼È°øÁ¤ÀÌ ´õÁøÇàµÉ¼ö·Ï ´õ ³ôÀº ¼øµµ·Î Á¤Á¦µÈ ÀϺ»»ê ºÒȼö¼ÒÀÇ ÀÇÁ¸¼ºÀÌ ³ô¾ÆÁø´Ù´Â ÁÖÀåÀº ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ½Ä°¢°øÁ¤À» Àß ¸ð¸£°í ÀÖÀ» ¶§ ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â À̾߱âÀÌ´Ù.
¶ÇÇÑ ºÒȼö¼ÒÀÇ ¼øµµ °³³äÀº ½Ä°¢ÀÌ ÀߵǴÀ³Ä¿Í °ü·Ã ÀÖ´Â °ÍÀÌ ¾Æ´Ï¶ó ‘ºÒ·®·ü=¼öÀ²’°ú ¿¬°ü¼ºÀÌ ³ô´Ù. ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡¼´Â ¼øµµ°¡ ³ôÀº Á¦Ç°À» »ç¿ëÇÏ´Â °ÍÀÌ ºÒ·®·üÀ» °¨¼Ò½ÃŲ´Ù´Â Ãø¸é¿¡¼ ºÐ¸í À¯¸®ÇÏ´Ù. ÇÏÁö¸¸ ¸ðµç ÈÇÐÁ¦Ç°ÀÇ ¼øµµ°¡ ÀÏÁ¤ ÀÌ»ó ¼öÁØÀ¸·Î ³ô¾ÆÁö±â À§Çؼ´Â ºÒ¼ø¹° Á¦°Å °øÁ¤ÀÌ ¹Ýº¹µÇ°í º¹ÀâÇØÁ®¼ ±×¸¸Å °¡°ÝÀÌ ¾ÆÁÖ ³ô¾ÆÁø´Ù.
ºÒ»ê ³» ºÒ¼ø¹°Àº °¢ ºÒ¼ø¹° º°·Î ¹ÝÀÀÇÏ´Â ¹°ÁúÀ» ÀÌ¿ëÇØ ÃßÃâÇس½´Ù. ÀÌ·± ¹ÝÀÀ °úÁ¤À» ¹Ýº¹Çؼ ºÒ¼ø¹°ÀÌ ÃÖ´ëÇÑ ¹Ì·®À¸·Î ³²¾ÆÀÖÀ» ¼öÁرîÁö Á¦°ÅÇÑ´Ù. ¼øµµ¸¦ ³ôÀÌ¸é ³ôÀϼö·Ï Á¤Á¦ºñ¿ëÀÌ Áõ°¡ÇÏ°í º¸°üÀÌ ±î´Ù·Î¿öÁö±â ¶§¹®¿¡ °¡°Ýµµ ÇÔ²² »ó½ÂÇÑ´Ù.
¾Æ¹«¸® ÃÊ°í¼øµµ Á¦Ç°ÀÌ¶óµµ °¡°ÝÀÌ ºñ½Î¸é ÇØ´ç ¼øµµÀÇ ºÒ»êÀº ¾Æ¹«µµ ±¸ÀÔÇÏÁö ¾ÊÀ» °ÍÀÌ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¾÷üµéÀº ÀÏÁ¤ ¼øµµÀÇ ºÒ»êÀ» ±¸ÀÔÇÏ°í ºÒ·®·ü°ú °æÁ¦¼ºÀ» µûÁ®¼ ±×°Í¿¡ ¸Â´Â ¼øµµÀÇ ºÒ»êÀ» ±¸ÀÔÇؼ ¾´´Ù. ºÒ·®·üÀÌ Á¶±Ý ´õ ¿Ã¶ó°¡´õ¶óµµ ¼öÁö Ÿ»êÀÌ ¸Â´Â ¼öÀ²ÀÇ °¡°ÝÀÇ Á¦Ç°À» ±¸ÀÔÇÏ´Â °ÍÀÌ ´õ Å©°Ô ÀÌÀÍÀ» ³²±â±â ¶§¹®ÀÌ´Ù.
°á·ÐÀûÀ¸·Î ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê°øÁ¤¿¡´Â °¡Àå ÀÌÀÍÀÌ ¸¹ÀÌ ³²´Â °¡°Ý¿¡ ¸Â´Â ºÒ»êÀÌ ÅõÀԵǴ °ÍÀÌ°í, ±»ÀÌ ¼öÁö Ÿ»êÀÌ ¸ÂÁö ¾Ê´Â ÃÊ°í¼øµµ ºÒ»êÀ» ¾µ ÀÌÀ¯°¡ ¾ø´Ù.
ºÒ»ê, ±¹³» ¹× ÇØ¿Ü»êÀ¸·Î ÃæºÐÈ÷ ´ëü°¡´É
ÀϺο¡¼´Â ¼øµµ 99.999%ÀÇ ºÒ»êÀº ÀϺ»¿¡¼¹Û¿¡ ±¸ÇÒ ¼ö ¾ø´Ù°í ÇÏÁö¸¸ ÀÌ°ÍÀº »ç½ÇÀÌ ¾Æ´Ï´Ù. ÇöÀç ¿ì¸®³ª¶ó ±â¾÷µéÀÌ »ï¼º°ú ÇÏÀ̴нº¿¡ °ø±ÞÇÏ´Â ºÒ»êÀº ÀÏ¸í ‘ÆÄÀÌºê ³ªÀÎ(9°¡ 5°³)’À̶ó°í ºÒ¸®´Â ¼øµµ 99.999% Á¦Ç°ÀÌ´Ù. ½ÇÁ¦ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡ ÅõÀԵǴ ±¹³»»ê ºÒ»êÀº °ËÁõÀÌ ³¡³µ°í Áö±Ýµµ »ç¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù.
ºÒ»ê °ø±Þ·®À» 100% ±¹»êÀ¸·Î ´ëüÇÏ·Á¸é ±â¾÷µéÀÌ ¼³ºñÁõ¼³À» ÇÏ´Â µî ÀÏÁ¤ÇÑ ½Ã°£ÀÌ ÇÊ¿äÇÒ »Ó, ¿ì¸®°¡ Å©°Ô ¿ì·ÁÇÒ Á¡Àº ¾ø´Ù. »ï¼º°ú ÇÏÀ̴нº°¡ ¼øµµ¸¦ Áß¿ä½Ã ÇÏ°í ÀϺ»»ê Á¦Ç°À» »ç¿ëÇØ ¿Ô´ø ÀÌÀ¯´Â ´Ü¼øÈ÷ ºÒ·®·ü ¶§¹®À̾ú´Ù.
±×·¯³ª Áö±ÝÀº ¿ì¸® ±â¾÷ÀÌ ¼Õ½ÇÀ» °¨³»ÇÏ°íµµ ÀϺ»À» Á¦¿ÜÇÑ ±¹»ê ¶Ç´Â Çؿܾ÷üÀÇ ºÒȼö¼Ò¸¦ »ç¿ëÇØ¾ß µÉ ÀÌÀ¯°¡ »ý°å´Ù. ±×µ¿¾ÈÀº »ó´çÇÑ Å×½ºÆ®ºñ¿ë°ú ½Ã°£À» µé¿©°¡¸é¼ ¼ÒÀç±¹»êÈ ¶Ç´Â ¼öÀÔ´Ùº¯È¸¦ ÇØ¾ß ÇÒ ÀÌÀ¯°¡ ¾ø¾ú´Ù. ÇÏÁö¸¸ À̹ø ÀϺ» Á¤ºÎÀÇ ¼öÃâ±ÔÁ¦Á¶Ä¡¶ó´Â ¾öû³ »ç°ÇÀ¸·Î ÀÎÇØ ¿ì¸® ±â¾÷Àº ÀϺ» ±â¾÷µéÀÌ ´õ ÀÌ»ó ¹ÏÀ» ¼ö ÀÖ´Â °Å·¡Ã³°¡ ¾Æ´Ï¶ó´Â °ÍÀ» ¾Ë°Ô µÆ´Ù.
ÀϺ» ±â¾÷µéÀº ¾ðÁ¦µçÁö Á¦Ç°°ø±ÞÀ» Áß´ÜÇÒ °¡´É¼ºÀÌ ÀÖ°í ±×·¸°Ô µÇ¸é »ï¼º°ú ÇÏÀ̴нº ¹ÝµµÃ¼ »ç¾÷ÀÚü°¡ À§±â¿¡ ³»¸ô¸± ¼ö ÀÖ´Ù. µû¶ó¼ »ï¼º°ú ÇÏÀ̴нº´Â ¾î´À Á¤µµ ¼Õ½ÇÀ» °¨³»ÇÏ°í¶óµµ ¼öÀ²Å×½ºÆ®¸¦ ÁøÇàÇÒ ¼ö¹Û¿¡ ¾ø´Â »óȲÀÌ¸ç ±¹»êÈ ¹× ¼ÒÀç ¼öÀÔÀÇ ÀÌ¿øȸ¦ ¹Ýµå½Ã ¼öÇàÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.
¼öÀ²Å×½ºÆ®¸¦ ÅëÇؼ ºÒ·®·üÀÇ ¼öÁØÀ» ¾Ë°í °á°ú°¡ ÁÁ´Ù¸é ÃÖ±Ù °Å·ÐµÈ ·¯½Ã¾Æ ¹× ´ë¸¸, Áß±¹»ê ºÒȼö¼Ò »ç¿ëµµ °¡´ÉÇÏ´Ù. ¶ÇÇÑ ±¹»ê ºÒȼö¼Ò´Â ÀÌ¹Ì »ç¿ëÇÏ°í Àֱ⠶§¹®¿¡ Å×½ºÆ® °úÁ¤ÀÌ ÇÊ¿ä ¾øÀÌ ±¹³» ±â¾÷µéÀÌ ¹°·®À» Á¦°øÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Áõ¼³ÇÏ´Â ±â°£¸¸ ¹ú¾îÁØ´Ù¸é ¹®Á¦°¡ ¾øÀ» °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.
¡á <³ªÄ§¹Ý 36.5µµ> 8¿ùÈ£ ÇØ´ç ÆäÀÌÁö ¾È³»
*
¿¡µàÁø ±â»ç ¿ø¹®: http://www.edujin.co.kr/news/articleView.html?idxno=31658